エアーブローとバキュームを利用し、粘着ロールを併用した画期的なクリーンローラーです。

• ジェットスピンエアーの採用で、基板表裏に付着するゴミを吹き飛ばします
• 吹き飛ばされたゴミは機外に飛散する事なく、バキュームにより集塵します。
• ミクロン単位のゴミも粘着ロールにより確実に除去します。
• 装置の出入口で静電気を除去する事で、基板へのダメージが低減します。
• 従来のクリーンローラーと比べ、粘着テープの消耗が大幅に軽減します。
  （テープ交換サイクルが２～３倍延長。当社比）
• 粘着ローラーの欠点である、大きなゴミ、多量のダストも瞬時に除去します。